Module-Level Power Device Burn-in Test Handler

パワーデバイス用に設計された最新のモジュールレベルバーンイン試験システムです。この革新的なテスターは、720個のパワーモジュールの並列テストに対応し、モジュールのトレイからトレイへの形態で、電圧/電流の同時測定と温度モニタリングのための独立したドライバーチャンネルで構成されています。バーンインテストハンドラーは、窒素を収容するシールチャンバーを備えています。テスターをオーバーヒートさせることなく動作可能な温度状態に保ちながら、DUTの酸化を保護します。

  • 完全自動化ハンドラー
  • テストチャンバー内蔵のオールインワンソリューション
  • 高レベルのユーザー定義バーンインプロファイル(連続またはパルスモード)
  • 窒素ガス冷却システムとの統合
  • 基板タイルの容易なロード&アンロード
  • プログラム可能な温度プロファイル

製品仕様

入出力オプション  JEDECトレイ
チャンネル数 最大2040ユニット
バーンイン時間 プログラム可能
電気的パラメータ測定 電流源範囲: 

  • 2uA, 500uA, 5mA

電流測定公差:

  • 1%の精度。各電流レンジに対して5nA、0.5uA、1uA

電圧源範囲:

  • 高電圧源: 0~650KV
  • 低電圧源: +/-50V

電圧源精度:

  • 高電圧: ±1%
  • 低電圧: 20mV または0.1%
プログラム可能な温度調整 温度測定制御: 

  • 周囲~150°C

温度設定範囲:

  • 150°Cまで

温度設定分解能:

  • 0.1°C

動作温度:

  • 150℃まで

動作湿度:

  • <65% RH @ 23°C (周囲温度)

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