パワーデバイス用に設計された最新のウェーハレベルバーンインテストシステムです。この革新的なテスターは、2ウェハ並列テスト、720ダイ並列テストに対応します。独立したドライバ・チャンネルにより、電圧/電流の同時測定と温度モニタリングが可能です。窒素やアーク抑制ガスなどの不活性ガスを封入するシールチャンバーが設計されており、過熱することなくテスターを動作可能な温度状態に保ちながら、アークや酸化からDUTを保護します。
- 全自動ハンドラーに内蔵
- テストチャンバー内蔵のオールインワンソリューション
- 高レベルのユーザー定義バーンインプロファイル(連続またはパルスモード)
- 窒素ガス冷却システムとの統合
- 基板タイルの容易なロード&アンロード
- プログラム可能な温度プロファイル