WLBI-22 Wafer-Level Power Device Burn-in Test Handler

パワーデバイス用に設計された最新のウェーハレベルバーンインテストシステムです。この革新的なテスターは、2ウェハ並列テスト、720ダイ並列テストに対応します。独立したドライバ・チャンネルにより、電圧/電流の同時測定と温度モニタリングが可能です。窒素やアーク抑制ガスなどの不活性ガスを封入するシールチャンバーが設計されており、過熱することなくテスターを動作可能な温度状態に保ちながら、アークや酸化からDUTを保護します。

  • 全自動ハンドラーに内蔵
  • テストチャンバー内蔵のオールインワンソリューション
  • 高レベルのユーザー定義バーンインプロファイル(連続またはパルスモード)
  • 窒素ガス冷却システムとの統合
  • 基板タイルの容易なロード&アンロード
  • プログラム可能な温度プロファイル

製品仕様

入出力オプション ウエハ
チャンネル数 最大720ユニット
バーンイン時間 プログラム可能
電気パラメータ測定 電流ソース・レンジ

  • 2uA, 500uA, 5mA

電流測定公差:

  • 1%の精度。各電流レンジに対して5nA、0.5uA、1uA

電圧源範囲:

  • 高電圧源 0~3KV
  • 低電圧源: +/-50V

低電圧源精度:

  • 高電圧: ±1%
  • 低電圧: 20mV または0.1%
プログラム可能な温度制御 温度測定制御:

  • 周囲温度~175°C

温度設定範囲

  • 175℃まで

温度設定分解能:

  • 0.1°C

動作温度:

  • 175℃まで

動作湿度:

  • <65% RH @ 23°C (周囲温度)

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