Trooper-BI Wafer-Level Power Device Burn-in & Test Handler

Trooper-BIは、ウェーハレベルの炭化ケイ素(SiC)パワーデバイス用に特別に設計された高性能バーンインテストハンドラーです。このハンドラーには、真空ベースのウェハーロボットエンドエフェクトが装備されており、お客様のご要望に応じて2インチから8インチまでのベアウェーハを取り扱うことができます。720から1800テストチャンネルまでの優れたマルチプローブテストを提供し、精密サーマルチャックは200℃までの温度をサポートします。極端な温度下で高電圧・電流ストレステストを実施することにより、Trooper-BIは効果的に欠陥を早期に発見・除去し、完全にテストされた信頼性の高いデバイスを確実にお届けします。

  • チャンネル数ウエハユニットあたり最大1800
  • 2″、3″、4″、5″、6″、8 “ベアウェーハに対応
  • 200°Cまでの高精度サーマルチャックによるマルチテスト並列化
  • 1枚のプローブカードで幅広いテストパラメータに対応し、効率性とコスト効率を実現
  • 効率と費用対効果
  • ユーザー定義可能なバーンインプロファイル
  • バーンイン前とバーンイン後の両方のテストを実行
  • バーンイン後の外観検査
  • バーンイン中のリアルタイム電圧/電流測定と温度モニタリング

製品仕様

入出力オプション ウェーハカセット対応
チャンネル数 最大1,800/枚(それ以上のチャンネル数については要検討)
ウェーハサイズ 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ
バーンイン時間 プログラム可能
テスト機能 プリ/ポスト・テスト(IGSS、IDSS、Vth、VSD)
ストレス・テスト(IGSS、IDSS)

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