Trooper-BI4は、炭化珪素ウェハの信頼性・バーンイン試験において、ウェハレベルで優れた性能を発揮する全自動バーンインテストハンドラーです。カセットからチャックまでのウェーハハンドリングを自動化する高精度アクティブアライメントガントリーシステムにより、4枚のウェーハを同時にバーンインすることが可能です。ハンドラーは2 “から12 “までのウェハーに対応し、200℃までのサーマルチャック温度で、ウェハー当たり1800テストチャンネルに達するマルチプローブテストを提供します。

• チャンネル数最大1800チャンネル
• 2″、3″、4″、5″、6″、8 “ベアウェーハに対応
• サーマルチャックを使用し、最高200℃の高温で複数のプローブテストが可能
• 1枚のプローブカードで幅広いテストパラメータに対応し、効率性とコスト効率を保証します。
• 効率と費用対効果
• ユーザー定義可能なバーンインプロファイル
• バーンイン前とバーンイン後の両方のテストを実行
• バーンイン後の外観検査
• バーンイン中のリアルタイム電圧/電流測定と温度モニタリング