PM51 Media Transfer ハンドラ

PM51は、移送機および視覚検査ハンドラです。

  •      入力メディアと出力メディアの任意の組み合わせ
  •      入力(ウェーハ、ジェッデックトレイ、プラスチックチューブ、デテープ、ボウルフィーダ)
  •      出力(ウェーハ、ジェッデックトレイ、プラスチックチューブ、テープ&リール)
  •      方向転換の柔軟性
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